氮氣柜技術參數(shù)                                                          

內腔尺寸     W600mm×D600mm×H600mm
材質     外箱采用優(yōu)質不銹鋼，內箱采用SUS304不銹鋼
溫度范圍     RT+10-300℃
溫度分辨率     0.1℃
溫度波動度     ＜±0.5℃
溫度均勻度     ≤±1.5%
潔凈度     class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境
電源及總功率     AC 380V±10% / 50HZ       總功率約15.0KW    
升溫速度     5-8℃/min
降溫速度   降溫5℃/min或自定義
氧含量
     高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
     低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
氮氣柜概述

      無氧化烤箱箱體內裝有氧含量分析儀，全稱檢測氧含量，可設置超標報警功能。排氣口采用自動風門設計以達到強烈的循環(huán)效果及快速降溫，進氣口加附N2流量計控制進氣量。

     翅片式水冷散熱器，冷卻水通過散熱器快速帶走更多的熱量，使得箱內溫度快速下降，縮短降溫時間，提高生產(chǎn)效率。