光刻工藝是半導(dǎo)體制造中最為重要的一個(gè)步驟。光刻工藝是以光刻膠的感光性及耐腐蝕性等特性，將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到硅片的光刻膠上，為了之后的刻蝕及離子注入等工藝做準(zhǔn)備。一般的光刻工藝流程分為:襯底準(zhǔn)備、涂膠、軟烘于、對(duì)準(zhǔn)和曝光、曝光后烘干、顯影。

HMDS烤箱，HMDS真空烘箱的由來(lái)

半導(dǎo)體工藝中需要在各種襯底上進(jìn)行光刻膠涂布，黏附性是否良好是最大的問(wèn)題。黏附差導(dǎo)致嚴(yán)重的側(cè)面腐蝕，線(xiàn)條變寬，甚至有可能導(dǎo)致圖形全部消失，濕法刻蝕技術(shù)要求光刻膠與下面的襯底有很好的黏附性。

提高光刻膠與襯底之間的黏附力有多個(gè)步驟：

a、涂膠前進(jìn)行脫水堅(jiān)膜;

b、使用黏附促進(jìn)劑，即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布;

c、高溫后烘。

完成以上工藝僅用我司生產(chǎn)的HMDS真空烘箱即可。

HMDS烤箱，HMDS真空烘箱

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤133pa（1torr）

控制儀表：人機(jī)界面，一鍵運(yùn)行

儲(chǔ)液瓶：HMDS儲(chǔ)液量1000ml 

真空泵：無(wú)油渦旋真空泵

       HMDS真空烘箱也稱(chēng)為智能型HMDS真空系統(tǒng) 將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。