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PI膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體PI固化爐

PI膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體PI固化爐

簡要描述:

PI膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體PI固化爐用于PI高溫固化烘烤。廣泛應(yīng)用于微電子工業(yè)中的半導(dǎo)體器件表面的保護(hù)、密封、應(yīng)力緩沖保護(hù)和半導(dǎo)體器件表面鈍化、內(nèi)涂料、層間絕緣和介電薄膜材料以及液晶顯示器的液晶分子取向膜材料,對改善器件性能、提高器件可靠性,具有防潮、防金屬離子遷移、防污染,降低漏電流,同時對器件的引線、焊點(diǎn)等薄弱部位具有增固加強(qiáng)的作用。所以,PI的固化工藝非常重要。

PI膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體PI固化爐簡介:

   PI膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體PI固化爐用于PI高溫固化烘烤。PI(聚酰亞胺)是一種高粘附性微電子用高純涂層材料,其zui大特點(diǎn)是可以直接用于半導(dǎo)體器件表面,形成高粘附性的聚酰亞胺薄膜,實(shí)施工藝中可免除涂敷偶聯(lián)劑,簡化使用工藝,保證了器件的可靠性,提高了成品率。廣泛應(yīng)用于微電子工業(yè)中的半導(dǎo)體器件表面的保護(hù)、密封、應(yīng)力緩沖保護(hù)和半導(dǎo)體器件表面鈍化、內(nèi)涂料、層間絕緣和介電薄膜材料以及液晶顯示器的液晶分子取向膜材料,對改善器件性能、提高器件可靠性,具有防潮、防金屬離子遷移、防污染,降低漏電流,同時對器件的引線、焊點(diǎn)等薄弱部位具有增固加強(qiáng)的作用。所以,PI的固化工藝非常重要。
技術(shù)參數(shù):
1. zui高溫度:450℃;可自定義
2. 工作室尺寸:450×650×450mm(W×H×D);可自定義
3. 箱體數(shù)量:一個;  可自定義兩箱
4. 腔體材料:SUS304鏡面不銹鋼;
5. 加熱元件:不銹鋼加熱器;
6. 熱電偶:K型熱電偶;
7. 空箱升溫時間:可控制,斜率升溫;
8. 空箱降溫時間:可控制,斜率降溫;
9. 記錄儀:溫度和氧含量記錄儀;
10. 氧含量-氧分析儀:
  高溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
  低溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量
11. 溫度波動度:±1℃;
12. 溫度均勻度:±5%(300℃平臺);
基本配置:
1. 控制:單獨(dú)控制;
2. 排風(fēng)口:一個;
3. 控溫儀表:日本理化FP23溫控儀;
4. 控溫段數(shù):20×20段;
5. 控溫點(diǎn)數(shù):一點(diǎn);
6. 超溫報警點(diǎn)數(shù):一點(diǎn);
7. 檢測點(diǎn)數(shù):六點(diǎn);
8. 高溫開爐門保護(hù):當(dāng)溫度超過100℃,電子鎖自動鎖緊,防止高溫開門
9. 報警保護(hù):超溫、元件故障等聲光報警保護(hù);
10. 超溫保護(hù):獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器;
11. 電機(jī)保護(hù):電機(jī)過電流、過熱保護(hù);                      
12. 表面溫升:<30℃;
13. 加熱功率:12kW;   
14. 保溫功率: ≤9kW;
15. 電源:380VAC,50Hz;

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