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六箱體氮氣烘箱，多倉式潔凈烘箱選配功能： 輔助降溫：水冷、風(fēng)冷降溫 操作界面：人機(jī)界面+PLC,工控電腦 錄入信息：掃碼槍 監(jiān)測功能：氧含量分析儀等

前烘氮氣烘箱，硬烘潔凈烘箱優(yōu)化光刻膠的光學(xué)吸收特性，提高光刻膠對襯底的黏附性

集成電路封裝專用氮氣烘箱用于集成電路封裝中的前道裝片固化烘烤、后道塑封固化烘烤。

上海百級潔凈烘箱用于精密電子元件、高溫烘烤、堅膜烘烤、半導(dǎo)體元件封裝、治具干燥、銀膠固化、晶圓退火、芯片高溫測試、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求

class100高溫潔凈烘箱，程控式無塵烤箱采用液晶觸摸屏溫度控制器，內(nèi)置曲線查詢、PID自整定、高溫上限報警、運行方式：定值、程式，中、英文操作。

全不銹鋼潔凈烘箱，高溫潔凈 烘箱定做潔凈度class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

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