晶圓烤箱，超潔凈烤箱簡介：

   晶圓烤箱，超潔凈烤箱工作室內(nèi)充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱主要用于：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等電子、IC、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。

技術(shù)參數(shù)：

內(nèi)桶：采用SUS304#鏡面不銹鋼板，經(jīng)堿性蘇打水清潔，避免烘烤時產(chǎn)生灰塵；
中桶：采用SUS304#鏡面不銹鋼板，經(jīng)堿性蘇打水清潔，全氬弧焊焊接密封，避免烘烤時自身污染；
外部材料：采用SUS304拉絲不銹鋼板制造；
保溫材料：采用國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)超細玻璃棉，100K級高密度高保溫材料制造，六面保溫；
潔凈度：100級、10級、1000級

氮氣進氣口：加裝流量計控制進氣量,入氣口：6mm；
排氣口：自動啟動風門,達到強烈循環(huán)效果而降溫的目的

電源：AC220V/380V 50Hz 
溫度均勻度：≤±2.0℃；

溫度范圍：RT+20～300℃，
氧含量：≤500ppm；

內(nèi)尺寸：W710mm ×D 610mm ×H 560mm（可做上下兩箱）；

傳感器：采用日制進口感溫芯片，不銹鋼外套，輸出被控制元件：SSR固態(tài)繼電器輸出；
溫度控制器:采用多段溫度控制器，數(shù)字設(shè)定，LED顯示，PID自動演算，SSR固態(tài)繼電器輸出；
溫度控制器顯示精度: 0.1；
保護裝置：

超溫防止警報裝置；
電熱、馬達過電流保護；
控制回路短路及過載保護；
漏電斷路器；
逆向防止器；
機臺異常風鳴器；

采用電磁門鎖，附斷電防開門裝置；
三色指示燈：黃色待機,綠色運轉(zhuǎn),紅色超溫指示；
配合烘烤流程，控制氮氣及空氣之啟閉，避免氮氣浪費；